XU-100光谱测厚仪
性能优势
● 检测速度快 即放即测,最快可1秒出检测结果 |
● 变焦装置算法 可对各种凹槽异形件进行检测,凹槽深度测量范围可达0-30mm |
● 高精密微型移动滑轨 微米级移动精度,快速精准定位微小样品 |
● 更高的性价比 制造工艺升级,更具性价比,大大节省使用成本 |
● 使用寿命长 模块化设计,聚焦节能,搭载自动休眠模式,延长使用寿命 |
XU-100光谱测厚仪
技术参数
型号 |
XU-100 |
测量元素范围 |
CI(17)/AI(13)-U(92) |
涂镀层分析范围 |
Li(3)-U(92) |
RoHS |
可选配 |
算法 |
自主研发的EFP算法 |
软件操作 |
人性化封闭软件,自动判断故障提示校正及操作步骤,避免误操作 |
X射线装置 |
微聚焦射线管 |
准直孔 |
Ф0.1mm/Ф0.2mm/0.5mm/5mm(选配四准) |
信号及接收 |
Pro-SD处理器+PC/DPP+FAST SDD(选配) |
滤光片 |
选配集成嵌入式多滤光片切换装置 |
微光聚焦技术 |
最近测距光斑扩散度 10% |
测量距离 |
具有距离补偿功能,可改变测量距离测量凹凸异形样品,变焦距离可达0-30mm |
样品观测 |
1/2.7"彩色CCD,变焦功能 |
对焦方式 |
高敏感镜头,手动对焦 |
放大倍数 |
光学38-46X,数字放大40-200倍 |
仪器尺寸 |
550mm*360mm*410mm |
样品舱尺寸 |
长435mmx宽330mmx高140mm |
样品台移动 |
选配高精密XY手动移动平台 |
可移动范围 |
50mm*50mm |